超純水是水中電解質幾乎全部去除，水中不溶解的膠體物質、微生物、微粒、有機物、溶解氣體降至很低程度，都是經過膜過濾或混合床等終端精處理的水。
目前，我國電子工業部把工業超純水水質技術分為五個行業標準，分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以區分不同水質。
制備超純水的方法通常采用反滲透，去離子或電去離子（EDI）等工藝。在水質要求達10MΩ.cm以上，通常采用不同的工藝進行組合搭配的方法來制取，例如采用反滲透加去離子，反滲透加EDI等。
電導率在1us/cm—10us/cm之間的超純水也即電阻值在0.1兆歐到1兆歐之間，這種水大都應用在對水質要求不是太嚴的場所，例如普通的清洗用水，普通配液用水、化學配置用水等。這種純水可以采用一級或兩級反滲透工藝來制取，傳統的方法是用蒸餾法，但因能耗太大而大都改用反滲透膜法來制取這樣要求不是太高的純水。
電導率在0.1us/cm—1us/cm(電阻值1-10兆歐）之間的超純水，這種純水應用在對水質相對較嚴格的場所，例如大多數電子線路板的清洗用水、普通電鍍用水、電廠用水、普通化學試劑的配制用水及廣大涂料用水等。這種純水的制備大都采用一級反滲透再后面加去離子設備，也有采用前級加砂、炭過濾作預處理，后面再用陰床、陽床、再加復床來制取的。兩種工藝比較而言，采用反滲透加去離子工藝初投資較大，但設備維護簡便，再生周期要長得多，而且運行穩定。
電導率低于0.1us/cm的超純水也即電阻值在10兆歐以上，這種純水應用在對水質特別嚴格的場所，例如大多數高精度電子線路板的清洗用水，電池行業配液用水，醫藥用生理注射用水等。這種純水的制備大都采用一級反滲透再后面加電去離子（EDI）設備，也有采用反滲透作一級處理，后面再用離子設備來制取超純水，但后級必須用拋光離子樹脂作后級處理。兩種工藝比較而言，采用反滲透加電去離子工藝初投資較大，但設備維護簡便，節能環保，而且運行穩定。超純水已被廣泛運用于電子、電力、化工、電鍍、鍋爐補給、實驗室及醫藥等眾多領域。
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